MEMS的全称是微型电子机械系统(Micro Electromechanical System)，利用半导体制造工艺和材料，将传感器、执行器、机械机构、信号处理和控制电路等集成于一体的微型器件或系统，其内部结构一般在微米甚至纳米量级。MEMS主要包含两个部分：传感器和执行器。

2014 年，全球 MEMS 传感器市场规模为 130 亿美元，据预计2015-2020年 MEMS传感器市场将以 13%年复合成长率增长，2020年将达到 300亿美元。

图片来源：中国产业信息网 2017

其中惯性传感器市场规模 30 亿美元，占总体 MEMS 整体行业规模 23%，下游应用主要为消费电子和汽车，消费电子市场中 MEMS 传感器的终端客户一般是智能手机和平板。汽车一般有稳定的供应商合作关系，对产品质量和供应商的资质要求高。

图片来源：中国产业信息网 2017

MEMS 产业链类似于传统半导体产业，主要包括了四大部分：前端 fabless 设计环节、ODM 代工晶圆厂生产环节、封装测试到下游最终应用的四大环节。

图片来源：中国产业信息网

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长三角区域：

•以上海、无锡、南京为中心。

•逐渐形成包括热敏、磁敏、图像、称重、光电、温度、气敏等较为完备的传感器生产体系及产业配套。

珠三角区域：

•以深圳中心城市为主。

•由附近中小城市的外资企业组成以热敏、磁敏、超声波、称重为主的传感器产业体系。

东北地区：

•以沈阳、长春、哈尔滨为主。

•主要生产MEMS力敏传感器、气敏传感器、湿敏传感器。

京津区域：

•主要以高校为主。

•从事新型传感器的研发，在某些领域填补国内空白。北京已建立微米/纳米国家重点实验室。

中部地区：

•以郑州、武汉、太原为主。

•产学研紧密结合的模式，在PTC/NTC热敏电阻、感应式数字液位传感器和气体传感器等产业方面发展态势良好。

图片来源：搜狐科技  2016全球前30大MEMS厂商排名

主要的MEMS传感器包括运动传感器、压力、麦克风、环境、光传感器等。其中运动传感器可分为陀螺仪、加速度计、磁力计。

1. MEMS运动传感器

MEMS运动传感器主要有加速度计、陀螺仪、磁力计三大类，加速度计和陀螺仪可以集成为六轴惯性传感器；磁力计和加速度计集成为电子罗盘（e-compass），加速度计、陀螺仪和磁力计可集成为9轴传感器。

惯性传感器(加速度计+陀螺仪)厂家有：意法半导体(ST)、旭化成微电子（AKM ）、应美盛(InvenSense)、罗伯特.博世等。

电子罗盘（磁力计+加速度计）厂家有：旭化成微电子（AKM ）、雅马哈（Yamaha）、阿尔卑斯（Alps Electric） 、美新半导体(MEMSIC)(2016年7月被华灿光电收购)等。

2. MEMS麦克风

MEMS麦克风在消费电子、汽车、医疗等领域广泛的应用。

3. MSME压力传感器

压力传感器主要制造商：

GE Measurement&ControlSolutions、罗伯特·博世、欧姆龙、NXP-飞思卡尔、亚德诺半导体、菲尔斯特、香港HKST、TDK-EPC、Silicon Microstructures、Sensimed、敏芯微（MEMSensing）、华美澳通、北京青鸟元芯、中科院上海微系统所、无锡纳微电子有限公司、上海芯敏微系统技术有限公司、Consensic、盾安环境

4. MEMS环境传感器

环境传感器可细分为气体、温度和湿度传感器等。

国外温度传感器主要制造商：

博世、Hygrometrix、TI、瑞士盛思锐、欧姆龙

国外湿度传感器主要制造商：

博世、意法半导体、MEMS Vision、瑞士盛思锐、TE Sensors

国外气体传感器主要制造商：

博世、奥地利微电子、Cambridge CMOS  Sensors、瑞士盛思锐、瑞士Micronas、美国Synkera

国内气体传感器主要制造商：

苏州能斯达、武汉微纳传感科技、炜盛科技、

森斯特（北京）电子科技有限公司（Nenvitech）、深圳市戴维莱传感技术开发有限公司、武汉四方光电科技有限公司、速丽德（Solidsense）、城市技术（CityTechnology）

5. MEMS生物传感器

MEMS生物传感器目前处于发展初期。未来MEMS生物传感器在医学、食品工业、环境监测等领域具有广阔发展空间。

MEMS代工主要有两种类型：IDM厂商提供的MEMS代工，独立的代工厂提供的MEMS代工，其中独立的代工厂包括集成电路代工厂和纯MEMS代工厂。目前IDM代工处于市场领导地位。

台积电目前是全球最大的独立的MEMS代工厂，国内的中芯国际、华宏宏利、上海先进半导体也有生产MEMS的能力。